智光电气（002169）、飞凯材料（300398）、南大光电（300346）、蓝英装备（300293）、强力新材（300429）、容大感光（300576）、晶瑞股份（300655）、苏大维格（300331）。
前四大光刻机上市公司相关介绍如下：
1、智光电气（002169）
智光电气主要从事电网安全与控制设备、电机控制与节能设备、供用电控制与自动化设备及电力信息化系统研发、设计、生产和销售。公司已建立了以测控技术、电力电子技术、通信技术和应用软件技术为基础的核心技术平台，形成了面向电气控制与自动化前沿领域的产品布局。
2、飞凯材料（300398）
公司成立于2002年，总部和研发中心位于上海市宝山，在安徽省安庆市、广东省惠州市、江苏省南京市均建有大规模生产基地；并在杭州、苏州、深圳、台湾高雄，以及美国旧金山、亚特兰大、日本、韩国首尔、印度班加罗尔等地设有办事机构或联络点，构成了以上海为中心的国内外销售服务网络。
3、南大光电（300346）
南大光电电子特气产品已在LED行业取得主要的市场份额，并实现了在IC行业的快速替代进口，得到了广大客户的高度认可，成为公司新的利润增长点。
4、蓝英装备（300293）
兰英装备经营专业机械和自动化电气控制系统的设计、生产、安装、调试、销售及相关的科技信息咨询服务。
